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Katja Steidel, Dresden, Fraunhofer CNT - Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke.
Katja Steidel, Dresden, Fraunhofer CNT Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke. Allemand 01.01.2011 Livre de poche épuisé
Romy Liske, Dresden, Fraunhofer CNT - Die Kinetik der elektrochemischen Kupferabscheidung in Sub-100-nm-Strukturen.
Romy Liske, Dresden, Fraunhofer CNT Die Kinetik der elektrochemischen Kupferabscheidung in Sub-100-nm-Strukturen. Allemand 01.01.2011 Livre de poche épuisé