Résultat de la recherche
Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke.
Allemand
01.01.2011
Livre de poche
épuisé
Die Kinetik der elektrochemischen Kupferabscheidung in Sub-100-nm-Strukturen.
Allemand
01.01.2011
Livre de poche
épuisé
Characterization and chemical recovery of plasma damaged porous low-k SiOCH dielectric for the semiconductor industry.
Anglais
01.01.2012
Livre de poche
épuisé