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La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs
sciences comme la physique, l'électronique, l'optique ou la mécanique,
contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement
impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse
des matériaux, la pureté des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions
chimiques et de leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces
optimisées et la gravure sélective de couches spécifiques. Au cours
des dernières décennies, la taille des transistors s'est considérablement
réduite et la fonctionnalité des circuits électroniques s'est accrue. Cette
évolution a conduit à une interpénétration de la chimie et de la micro-électronique
exposée dans cet ouvrage.
Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées
lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages
jusqu'aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de
l'impact de leur niveau de pureté jusqu'aux procédés d'interconnexion
des millions de transistors composant un circuit électronique. Afin
d'illustrer la convergence avec le domaine de la santé, l'ouvrage expose
les nouvelles fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques
ou les capteurs sur la personne.
