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Dusty Plasmas - Physics, Chemistry, and Technological Impact in Plasma Processing

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Zusatztext "This book...will surely achieve great success.""This book is recommended.."-- Plasma Physics Control Fusion! Vol 42! 2000"...well worth having in one's collection."--Journal of Atmospheric & Solar Terrestrial Physics! Vol 62! 2000 Informationen zum Autor André Bouchoule is the author of Dusty Plasmas: Physics, Chemistry, and Technological Impact in Plasma Processing, published by Wiley. Klappentext Plasmen, die Staubpartikel enthalten, werden in der Werkstoffverarbeitung seit einigen Jahren verstärkt eingesetzt; so beim Wachstum dünner Filme, beim Ätzen und bei der Oberflächenbehandlung. Das vorliegende Werk ist das erste, das sich ausschließlich diesem Thema widmet. Ausgehend von den physikalischen Grundlagen der Plasmaentstehung in verschiedenen Quellen werden die Eigenschaften der Medien diskutiert; der letzte Teil geht auf die wichtigsten Anwendungsfelder ein. (06/99) Zusammenfassung Dusty Plasmas Physics, Chemistry and Technological Impacts in Plasma Processing Edited by Andre Bouchoule Universite da Orleans, France Dusty Plasmas gives the reader a thorough overview of current knowledge on many aspects of the subject, from the basic science to technological implications. Inhaltsverzeichnis Physics and Modelling of Dusty Plasmas (J.-P. Boeuf & C. Punset). Sources and Growth of Particles (J. Perrin). Diagnostics of a Dusty Plasma (L. Boufendi, et al. ). Technological Impacts of Dusty Plasmas (A. Bouchoule. Indexes.

Inhaltsverzeichnis

Physics and Modelling of Dusty Plasmas (J.-P. Boeuf & C. Punset).
 
Sources and Growth of Particles (J. Perrin).
 
Diagnostics of a Dusty Plasma (L. Boufendi, et al. ).
 
Technological Impacts of Dusty Plasmas (A. Bouchoule.
 
Indexes.

Bericht

"This book...will surely achieve great success."
"This book is recommended.."
-- Plasma Physics Control Fusion, Vol 42, 2000
 
"...well worth having in one's collection."
--Journal of Atmospheric & Solar Terrestrial Physics, Vol 62, 2000

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