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Dünne Schichten von transparenten oder halbtransparenten Materialien spielen eine wichtige Rolle in unserem Leben. So wird einerseits eine Vielzahl von Farben in der Natur durch Interferenz von Licht hervorgerufen, das an dünnen, transparenten Schichten reflektiert wird. Andererseits begegnen wir täglich meistens unbewusst einer Vielzahl technischer Anwendungen dünner Filme. Daher ist es in unserem Interesse, so viel Information wie möglich über Schichten und Beschichtungen zu erhalten.Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstörungs- und berührungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dünner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch führt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflüsse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrößen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet.
Über den Autor / die Autorin
Dr. Michael Quinten works as Head of Research and Development Sensors at FRT GmbH in Bergisch Gladbach, Germany. Having obtained his diploma degree and Ph. D. in physics (1989) at the University of Saarland, Saarbruecken, Germany, he joined the Technical University RWTH Aachen in 1990 to work as a physics fessor. He then spent four years at several universities in Graz (Austria), Chemnitz, Aachen, Saarbruecken and Bochum (Germany). During his academic career, he authored 50 scientific publications on optical properties of nanoparticles, nanoparticle materials, and aerosols. In 2001, he joined the ETA-Optik GmbH, Germany, where he first worked in research and development of integrated optics components, and later became a product manager in the Colour and Coatings Division. During this period, he became expert in optical layer thickness determination. In 2007, he moved to FRT GmbH where he is responsible for the optical sensor technology division. He is the author of Optical Properties of Nanoparticle Systems: Mie and Beyond, Hardcover, 502 pages, Publisher: Wiley-VCH; 1 edition (March 15, 2011), ISBN10: 9783527410439, ISBN-13: 978-3527410439.
