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Die Dlinnschichttechnologie gehort heute zu den bedeutendsten Schllissel technologien der IndustrieHinder. Die Erzeugung von reibungs- und ver schlei13mindernden Schichten ist heute neben der Mikroelektronik die Trieb feder zur Unternehmung neuer Dlinnschichtverfahren geworden. Mit diesen Verfahren werden in vieWiltiger Weise Hartstoffschichten erzeugt. Hartstoffschichten gehoren zu den am best en untersuchten Schichtsystemen. Das Wissen hierliber ist enorm und kaum noch zu libersehen. In diesem Bereich der Dlinnschichttechnologien ist heute neben der Optik noch am ehesten der Ansatz der ingenieurma13igen Konstruktion funktionaler Schicht systeme moglich. 1m Rahmen der Kolloquienreihe "Moderne Oberflachen- und Dlinnschicht technologien - Verfahren und Anwendungen" des VDI-Technologiezen trums, aus der die vorliegenden Beitrage stammen, wurde versucht, einen Uberblick liber die Verfahrens- und Anwendungsvielfalt aber auch die Her stellungsprobleme von Hartstoffschichten zu geben. Das VDI-Technologie zentrum arbeitet im Auftrag und mit Unterstlitzung des Bundesministers fUr Forschung und Technologie (BMFT). Dr. L. Cleemann GeschaftsfUhrer des VDI-Technologiezentrums v Inhaltsverzeichnis Hartemeehanismen in Hartstoffsehiehten Kriterien fUr die anwendungsbezogene Auswahl von Hartstoffsehiehten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 Hartstoffsehichten in der Mikroelektronik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 Anforderungen an dekorative harte Sehiehten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 Eigenspannungsmessungen an Hartstoffsehichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79 Probleme der Lohnbesehiehtung - Qualitatssicherung . . . . . . . . . . . . . . 100 Die PVD-Besehiehtung aus der Sieht des WerkstofTherstellers 106 Silbemes TiN dureh Magnetronsputtem und seine Anwendungsbeispiele . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 Das unbalaneierte Magnetron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163 Oberfiaehenbehandlung von TI-Werkstoffen mit CO -Hoehleistungslasem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176 2 Ionenstrahlmisehen von Hartstoffsehiehten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188 Modeme Entwieklungen auf dem Gebiet der CVD-Besehiehtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205 MOCVD fUr Hartstoffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221 Plasma-CVD-Besehiehtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239 Neue Sehiehtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 250 Korrosionssehutz mit PVD-Sehichten auf Cr-Basis . . . . . . . . . . . . . . . . .
Inhaltsverzeichnis
Härtemechanismen in Hartstoffschichten.- Kriterien für die anwendungsbezogene Auswahl von Hartstoffschichten.- Hartstoffschichten in der Mikroelektronik.- Anforderungen an dekorative harte Schichten.- Eigenspannungsmessungen an Hartstoffschichten.- Probleme der Lohnbeschichtung - Qualitätssicherung.- Die PVD-Beschichtung aus der Sicht des Werkstoffherstellers.- Silbernes TIN durch Magnetronsputtern und seine Anwendungsbeispiele.- Das unbalancierte Magnetron.- Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen.- Oberflächenbehandlung von TI-Werkstoffen mit CO2-Hochleistungslasern.- Ionenstrahlmischen von Hartstoffschichten.- Moderne Entwicklungen auf dem Gebiet der CVD-Beschichtung von Hartmetallen.- MOCVD für Hartstoffe.- Plasma-CVD-Beschichtung von Hartmetallen.- Neue Schichtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren.- Korrosionsschutz mit PVD-Schichten auf Cr-Basis.- Korrosionsverhalten von Arc-PVD-Schichten.- Faktendatenbank für Hartstoffschichten.
