Charakterisierung dünner Schichten - Hrsg. v. DIN Dtsch. Institut f. Normung

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Charakterisierung dünner Schichten - Hrsg. v. DIN Dtsch. Institut f. Normung

Deutsch · Taschenbuch

Beschreibung

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Der DIN-Fachbericht gibt einen umfassenden Überblick über den Stand der entwicklungsbegleitenden Normung für Meßverfahren zur Schichtcharakterisierung. Die Spannweite reicht von Schichtdecke über Rauheit, Porosität, Topographie bis hin zu dünnen Schichten für die Optik.

Über den Autor / die Autorin

Dr. Hermann A. Jehn ist Leiter des Forschungsinstituts für Edelmetalle und Metallchemie Schwäbisch Gmünd.

Produktdetails

Verlag Beuth
 
Sprache Deutsch
Produktform Taschenbuch
Erschienen 01.01.1993
 
EAN 9783410130383
ISBN 978-3-410-13038-3
Seiten 248
Gewicht 718 g
Serie DIN-Fachbericht
Thema Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik > Technik > Chemische Technik

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