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Katja Steidel, Dresden, Fraunhofer CNT - Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke.
Katja Steidel, Dresden, Fraunhofer CNT Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke. Deutsch 01.01.2011 Taschenbuch vergriffen
Romy Liske, Dresden, Fraunhofer CNT - Die Kinetik der elektrochemischen Kupferabscheidung in Sub-100-nm-Strukturen.
Romy Liske, Dresden, Fraunhofer CNT Die Kinetik der elektrochemischen Kupferabscheidung in Sub-100-nm-Strukturen. Deutsch 01.01.2011 Taschenbuch vergriffen