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Informationen zum Autor J¿ai réalisé une thèse en microélectronique et métrologie soutenue à Toulouse en 2011 sous la direction d¿Henri Camon et d¿Alexandre Bounouh. Suite à ces travaux, j¿ai travaillé un an chez Freescale semiconducteur en tant qüingénieur process. Actuellement je travaille au CEA sur la conception de MEMS pour la réalisation de capteurs de pression. Klappentext Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont d¿excellents candidats pour la métrologie électrique. En effet, grâce au couplage électromécanique dans les MEMS, il est possible de réaliser des références secondaires de tension continue (DC) ou alternative (AC) ayant des valeurs de quelques volts à quelques centaines de volts avec des stabilités relatives pouvant atteindre quelques 10-7. Celles-ci peuvent alors être une alternative aux actuelles références Zener dans le cas de la tension continue, et constitueront une première pour la tension alternative puisque aucune référence n¿existe hormis celle basée sur l¿effet Josephson. Ce travail de thèse a été dédié au développement et à la fabrication de plusieurs générations de structures MEMS à capacité électrique variable dans lesquelles on exploite le phénomène du pull-in pour réaliser des références de tension AC.
