Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen

Kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen, welche auf dem Ansatz des epitaktischen Waferäquivalents beruhen, vereinen Vorteile Wafer-basierter Silicium-Solarzellen und der Dünnschichttechnologie. In dieser Arbeit werden Gasphasenätzprozesse betrachtet, welche die Herstellung der epitaktischen Waferäquivalente vereinfachen. Der Prozess des lateralen epitaktischen Überwachsens wird untersucht, um eine verbesserte Optik und Effizienz zu erreichen.

Product details

• Authors: Marion Drießen
• Assisted by: Freiburg/Brsg. Fraunhofer ISE (Editor)
• Publisher: Fraunhofer Verlag
• Languages: German
• Product format: Paperback / Softback
• Released: 01.01.2014
• EAN: 9783839606513
• ISBN: 978-3-8396-0651-3
• No. of pages: 191
• Illustrations: zahlr. teils farbige Abb. u. Tab..
• Series: Solare Energie- und Systemforschung / Solar Energy and Systems Research,
• Subject: Natural sciences, medicine, IT, technology > Technology > Heat, energy and power station engineering