Read more
1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar stürmische Entwicklung erfahren hat wie die Mikroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der Erfindung des Transistors (1948) und der Herstellung erster integrierter Schaltungen auf der Basis des Halbleitermaterials Silizium (1958) begann eine technische Revolution, die mit ihren Ergebnissen und Produkten inzwischen in fast alle Lebensbereiche unserer Gesellschaft hineinwirkt. Ohne die Erfolge der Mikroelektronik wäre die moderne Informations- und Kommunikationstechnik, die inzwischen die Berufswelt vieler Menschen wesentlich verändert hat, nicht denkbar. Das gilt auch für andere Bereiche wie z. B. die Me- zin-, die Verkehrs- und die Produktionstechnik. Der große technologische Fortschritt der Mikroelektronik beruht auf Miniaturisierung und Integration. Vor der Mikroelektronik wurden elektrische/elektronische Schaltungen aus - chanisch gefertigten Bauteilen wie Kondensatoren, Widerständen oder Elektronenröhren - sammengefügt und individuell abgeglichen. Aufgrund der Größe der Bauelemente war der Platzbedarf und das Gewicht hoch, die Packungs- und Funktionsdichte gering. Durch die - kroelektronik wandelte sich die Fertigung elektronischer Systeme grundlegend. Die B- elemente einer Schaltung wurden nun durch photolithographische Strukturierung und durch Schichttechnologien auf einem gemeinsamen Halbleiter-Substrat, dem Siliziumwafer, erzeugt.
List of contents
Basistechnologien der Mikrosystemtechnik.- Grundstrukturen und Anwendungen.- Systemintegration.- Beispiele komplexer Mikrosysteme.
About the author
Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt im Fachbereich Physikalische Technik der FH Wiesbaden und ist Direktor des Instituts für Mikrotechnologien (IMtech).
Dr. Thomas Zetterer war wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik Mainz (IMM) und ist jetzt in der Entwicklungsabteilung bei SCHOTT Electronic Packaging, Landshut, tätig.
Summary
Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen. Das umfangreiche Literaturverzeichnis ist dabei eine wertvolle Hilfe. Dem Fachmann aber auch Studierenden dient das Buch als Nachschlagewerk für zahlreiche technologische Fragestellungen. Diese vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage enthält neue Unterkapitel zu Lab-on-a-Chip-Mikrosystemen, neuen Substratmaterialien und zur Laser-Mikrostrukturierung.
Additional text
Zur 2. Auflage:
"[...] auf fast 500 eng gesetzten Seiten wird mit teils aufwändigen, immer anschaulichen Bildern dem Leser profundes Fachwissen vermittelt."
ImpulsE, 1/2006
"Für den fachlich interessierten Leser ist es wohltuend, derart kompetente Aussagen und Bewertungen zu erhalten".
Vakuum in Forschung und Praxis, 04/2006
Zur 1. Auflage:
"Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch für alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen Überblick über die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. Für den Anfänger ist das Buch allerdings nur bedingt geeignet,da der mathematische Anspruch sehr hoch ist."
ImpulsE 6/01
Report
Zur 2. Auflage:
"[...] auf fast 500 eng gesetzten Seiten wird mit teils aufwändigen, immer anschaulichen Bildern dem Leser profundes Fachwissen vermittelt."
ImpulsE, 1/2006
"Für den fachlich interessierten Leser ist es wohltuend, derart kompetente Aussagen und Bewertungen zu erhalten".
Vakuum in Forschung und Praxis, 04/2006
Zur 1. Auflage:
"Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch für alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen Überblick über die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. Für den Anfänger ist das Buch allerdings nur bedingt geeignet,da der mathematische Anspruch sehr hoch ist."
ImpulsE 6/01
