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La industria de los semiconductores impulsa y también se beneficia mucho del desarrollo de la nanotecnología. Como predecía la ley de Moore, el número de nanocomponentes individuales, como los transistores de un chip, sigue aumentando, lo que incrementa la densidad de entidades funcionales y, por tanto, mejora la potencia de cálculo. Un método eficaz para la fabricación controlada a escala nanométrica es el procesamiento inducido por haz de electrones focalizado (FEBIP). En él, se utiliza un haz de electrones focalizado para modificar localmente las propiedades de un sustrato, lo que permite fabricar nanoestructuras de forma arbitraria y composición química controlada. La técnica FEBIP más aplicada y destacada es la deposición inducida por haz de electrones (EBID), en la que ciertas moléculas precursoras se disocian localmente por el impacto del haz de electrones, dando lugar a la deposición de los fragmentos no volátiles de los precursores. En este libro se investigó la fabricación y aplicación de la nanoestructura por EBID.
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Dr. Fan Tu arbeitet jetzt als Wissenschaftler bei der Carl Zeiss SMT GmbH in Roßdorf (Deutschland) und konzentriert sich hauptsächlich auf die Entwicklung von FEBIP-Techniken ("Focused Electron Beam Induced Processing"), einschließlich Abscheidung und Ätzen. Diese Techniken wurden in der Masken-Reparaturindustrie angewandt, z.B. bei DUV- und EUV-Masken.
