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Dieses Buch gibt einen Einblick in die Theorie der Elektronenstrahlmikroskopie und ihren spektroskopischen Anwendungen, einschließlich der Wechselwirkungsmechanismen eines Elektronenstrahls mit Materie sowie der Detektions- und Bilderzeugungsmechanismen und deren Interpretation.Die verschiedenen Versionen eines Rückstreu- und Transmissionsmikroskops für bildgebende und spektroskopische Anwendungen werden erläutert.Der Hauptteil beschäftigt sich mit der Frage, wie die verschiedenen spektroskopischen Elektronenstrahl-Mikroanalysemethoden (AES, EDX, WDX, EELS, HREEELS, SPRS) funktionieren und welche Vorteile diese Methoden für verschiedene Wissenschaftsbereiche bieten, um die chemischen, kristallographischen, magnetischen, elektrischen und optoelektronischen Eigenschaften eines Probenmaterials sowohl in ihren Oberflächen- als auch in ihren Volumeneigenschaften mit hoher lateraler Auflösung zu analysieren und so die physikalischen Eigenschaften eines Materials mit seiner inneren Struktur verknüpfen zu können (Materialwissenschaft, Halbleiterforschung, Nanooptik, Plasmonen).
About the author
Mag. DI Dr. Andreas Jank, Diplom-Studium der Experimental-Physik und Promotion auf dem Gebiet der Elektronenstrahl-Spektroskopie an der technischen Universität Kaiserslautern. 20 Jahre in der Halbleiter-Industrie auf führenden globalen Positionen tätig, danach Wechsel in die Lehre.
