Propiedades de películas delgadas de IZO impurificado con nitrógeno - Efecto del nitrógeno en las propiedades físicas del IZO

En el presente trabajo, se hace la caracterización óptica y eléctrica con la técnica de Elipsometría Espectral, de películas delgadas de IZO impurificadas con nitrógeno. Estas películas pertenecen a la familia de óxidos conductores transparentes (TCO's), en donde una de sus cualidades es que son materiales con alta transparencia en las regiones de infrarrojo cercano, visible y ultravioleta; teniendo las características de baja resistividad eléctrica, buena movilidad y alta concentración de portadores de carga libres. Para depositar las películas de óxido de zinc e indio (IZO) dopado con nitrógeno, se utilizó la técnica de pulverización catódica reactiva asistida por radiofrecuencia. Esta técnica es altamente reproducible y tiene un alto control en la incorporación de las impurezas.

About the author

M. en C. Claudia Rafela Escobedo GalvánEstudios:Maestría en Ciencias Nucleares con terminación en Ingeniería Nuclear, Universidad Autónoma de Zacatecas, México.Licenciatura en Física, Universidad Autónoma de Zacatecas, México.Experiencia Profesional:Cecyt 18 Zacatecas, Instituto Politécnico Nacional, Zacatecas, México

Product details

• Authors: José de Jesús Araiza Ibarra, Claudia Rafel Escobedo Galván, Claudia Rafela Escobedo Galván, Jos Ortega Sigala, José Juan Ortega Sigala
• Publisher: Editorial Académica Española
• Languages: Spanish
• Product format: Paperback / Softback
• Released: 19.02.2018
• EAN: 9783330097285
• ISBN: 978-3-33-009728-5
• No. of pages: 108
• Subject: Natural sciences, medicine, IT, technology > Physics, astronomy > Miscellaneous