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Christian Fornaroli

Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung

German · Paperback / Softback

Description

Das Sublimationsschneiden mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung ist aufgrund der sehr kurzen Wechselwirkungszeiten zwischen Strahl und Material eine vielversprechende Vereinzelungstechnologie für Halbleiterbauelemente. In dieser Arbeit wird, durch Erhöhung der Substrattemperatur in der Schnittfuge, die Absorption der einfallenden Laserstrahlung so lokalisiert, dass ein möglichst hohes Aspektverhältnis resultiert. Weiterhin wird untersucht, welche Prozessparameter das Aspektverhältnis beeinflussen.

Product details

Authors	Christian Fornaroli
Publisher	Apprimus Verlag

Languages	German
Product format	Paperback / Softback
Released	30.09.2016

EAN	9783863594534
ISBN	978-3-86359-453-4
No. of pages	174
Dimensions	148 mm x 9 mm x 210 mm
Weight	329 g
Subject	Natural sciences, medicine, IT, technology > Technology > Mechanical engineering, production engineering

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