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Stephanie Kißling

Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen - Dissertationsschrift

German · Paperback / Softback

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Description

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.

Product details

Authors	Stephanie Kißling
Publisher	KIT Scientific Publishing

Languages	German
Product format	Paperback / Softback
Released	15.10.2010

EAN	9783866445482
ISBN	978-3-86644-548-2
No. of pages	109
Weight	250 g
Illustrations	Ill., graph. Darst.
Series	Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie
Subject	Natural sciences, medicine, IT, technology > Chemistry > Physical chemistry

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