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Microphone electrodynamique mems - En technologie cmo

French · Undefined

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Description

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Les microsystèmes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques, mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques du pointe de la microélectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la réalisation de systèmes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d'améliorer ses performances, d'augmenter la sensibilité et de diminuer le bruit grâce à la réduction de la taille des composants et par la suite les capacités parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir et réaliser une nouvelle génération de microphone monolithique de type électrodynamique, à base de bobines spirales planaires, réalisée en technologie standard complétée par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.

About the author










Farès Tounsi, Ingénieur en électronique, 2001, et Docteur en Micro et Nano Système de l¿Institut Nationale Polytechnique de Grenoble, 2010.

Product details

Authors Fares Tounsi, Tounsi-F
Publisher Omniscriptum
 
Languages French
Product format Undefined
Released 08.07.2011
 
EAN 9786131584930
ISBN 9786131584930
Series Omn.Univ.Europ.
Subjects Humanities, art, music > Linguistics and literary studies > General and comparative literary studies
Natural sciences, medicine, IT, technology > Physics, astronomy > Electricity, magnetism, optics

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