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Kantenisolation von Solarwafern - Untersuchung laserbasierter Prozesse zur Kantenisolation von Solarwafern

German · Paperback / Softback

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Kantenisolation von monokristallinen Solarwafern auf Basis von thermisch angeregten Ätzpasten mittels CO2-Laser. Über Anregung einer KOH-Paste wurde selektiv Silizium am Rand eines Wafer zur Erzeugung einer Isolationskante geätzt. In Abhängigkeit des Isolationsgrades wurden die Spurbreiten der aufgetragenenen Paste sowie die Laserparameter Intensität und Vorschubgeschindigkeit untersucht. Dabei wurde gezeigt, dass die Wafer unter bestimmten Parameter isoliert werden können.

About the author

David Haldan,Jahrgang 1985, Ausbildung zum Physiklaboranten von 2005-2009 am institut für Oberflächenmodifizierung. Studium in der Fachrichtung "Physikalische Technik" an der Hochschule Mittweida von 2009-2014. Bachelor über "Untersuchung laserbasierter Prozesse zur Kantenisolation von Solarwafern"

Product details

Authors David Haldan
Publisher AV Akademikerverlag
 
Languages German
Product format Paperback / Softback
Released 01.01.2014
 
EAN 9783639626063
ISBN 978-3-639-62606-3
No. of pages 64
Subject Natural sciences, medicine, IT, technology > Technology > Chemical engineering

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