Read more
Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Als Danke schon fUr den groBen Rtickhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Helen, meinen Kinder Sammy und Kim sowie meinen Eltern. Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkamper danke ich fUr die wohlwollende Unter sttitzung und Fbrderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Hbfflinger ftir die Durchsicht und Ubernahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr.-Ing. B. Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. S. Mayer und cando mach. D. Limperich fUr die intensiven Fachgesprache, Kritik und Unterstiitzung. Einen besonderen Dank mochte ich auch den Herren Dr.-Ing. R. Kaun und Dipl.-Phys. U. Gommel ftir ihre ausdauernde Diskussions bereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen.
List of contents
1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Halbleiterfertigung.- 2.3 Eingesetzte Produktionssysteme für "reine" Anwendungen.- 2.4 Überprüfung der Partikelreinheit in der Produktumgebung.- 3 Analyse von Produktionssystemen für "reine" Anwendungen und Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 3.1 Analyse der Produktionsumgebung.- 3.2 Analyse der Fertigungsgeräte und -anlagen.- 3.3 Analyse des Transportes zwischen den Fertigungsgeräten und -anlagen.- 3.4 Analyse der Qualifizierungsverfahren.- 3.5 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 4 Konzeption eines Integralen Reinheitssystems.- 4.1 Bewertung eingesetzter "Reiner" Produktionssysteme.- 4.2 Optimierungsansätze.- 4.3 Varianten der Reinheitssysteme.- 5 Entwicklung eines Verfahrens zur Qualifizierung von Reinheitssystemen.- 5.1 Konzeption des Qualifizierungsverfahrens.- 5.2 Komponenten des Qualifizierungsverfahrens.- 5.3 Entwicklung des Auswertealgorithmus.- 5.4 Entwicklung einer Qualifizierungsmethode.- 6 Entwicklung von Komponenten zur strömungstechnischen Auslegung eines Integralen Reinheitssystems.- 6.1 Reinheitssystemgerechte Produktübergabe.- 6.2 Ermittlung thermischer Einflüsse auf die Erstluftströmungsverhältnisse.- 7 Umsetzung und Erprobung an Praxisbeispielen.- 7.1 Fertigungsgerät zum Reinigen und Ätzen.- 7.2 Fertigungsanlage zum Belacken und Entwickeln.- 7.3 Diskussion der Anwendungsmöglichkeit und Ergebnisse.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.
