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Die vorliegende Arbeit entstand wlihrend meiner Tiitigkeit aIs wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut fUr Produktionstechnik und Automatisierung, Stuttgart. Zum Dank fUr den RlickhaIt wlihrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Elke und meinen beiden Kindem Franzisca und Antonia. Mein Dank gilt Herro Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkiimper fUr die groBzligige Unterstlitzung und Forderung, welche die DurchfUhrung der Arbeit ermoglichte. Herro Prof. Dr. rer. nat. R. Gadow danke ich fUr die wissenschaftliche UnterstUtzung, die ich von Thm und seinem Institut erhaIten habe, fUr die eingehende Durchsicht der Arbeit und fUr die wertvollen Hinweise, die sich daraus ergaben. Darliber hinaus danke ich aIlen Mitarbeitem des Instituts, die mich durch ihre anregende Kritik und Diskussion sowie durch Thre Hilfsbereitschaft unterstlitzt haben. Mein besonderer Dank gilt den Herren Dr. K. Melchior, Dipl.-Ing. (FH) T. Bolch, Dr. G. Kampschulte, Dr.-Ing. D. Mann, Dr.-Ing. O. Morlok, Dipl.-Ing. T. Lux und Dipl.-Phys. M. Eckel. Des weiteren danke ich der Frau Dr. B. Hasse von der Fa. ROWO Coating fUr die DurchfUhrung umfang reicher Transmissions- und Streulichtmessungen.
List of contents
0 Symbol- und Abkürzungsverzeichnis.- 1 Einleitung.- 1.1 Ausgangsbedingung und Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Lösungsweg.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Beschichten von Kunststoffen.- 2.2 Modifikation von Kunststoffen im Plasma.- 2.3 Meßverfahren zur Charakterisierung der Schicht- bzw. der Oberflächeneigenschaften.- 3 Physikalische Grundlagen.- 3.1 Vakuum.- 3.2 Verdampfungsprozeß.- 3.3 Plasma.- 3.4 Schichthaftung.- 4 Versuchsaufbau.- 4.1 Plasmaätzanlage.- 4.2 Beschichtungsanlage.- 5 Versuchsdurchführung.- 5.1 Substrate.- 5.2 Versuchsablauf.- 5.3 Schicht-, Verdampfungs- und Tiegelmaterialien.- 5.4 Parameter der zur Charakterisierung der Schicht- bzw. der Oberflächeneigenschaften eingesetzten Verfahren.- 6 Ergebnisse der Versuche.- 6.1 Plasmamodifikation.- 6.2 Beschichtung.- 6.3 Einfluß der Plasmamodifikation auf die Haftfestigkeit.- 6.4 Einfluß der Beschichtungsparameter auf die Haftfestigkeit.- 6.5 Optische Eigenschaften und Verschleißfestigkeit der abgeschiedenen Schichten.- 7 Anwendungen.- 7.1 Verschleißschutzschichten für Motorradhelmvisiere.- 7.2 Verschleißschutzschichten in der Automobilindustrie.- 7.3 Verschleißschutzschichten in der Leuchtmittelindustrie.- 7.4 Weitere mögliche Anwendungen.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.
