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Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitar beiter am Fraunhofer-Institut fur Produktionstechnik und Automatisierung (IP A), Stuttgart. Mein besonderer Dank gilt dem ehemaligen Leiter des IP A und derzeitigen Prasidenten der Fraunhofer-Gesellschaft, Herm Professor Dr.-Ing. Dr. h. c. mult. Hans-Jiirgen Warnecke, fur seine wohlwollende Unterstiitzung und Forderung der Arbeit. Herm Professor Dr.-Ing. Gisbert Lechner danke ich fur die Durchsicht der Arbeit und fur die Obemahme des Mitberichts. Aus dem Kreis der Kollegen am Institut, die mich durch ihre Mitarbeit und anregende Kritik unterstlitzt haben, mochte ich die Herren Dr.-Ing. Bernhard Klumpp, Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. Rolf Dieter Schraft sowie Dr.-Ing. Manfred Schweizer besonders hervorheben. Auch sollen die Hiwis, Diplomarbeiter und Praktikanten nicht unerwahnt bleiben, die mich wahrend dieser Zeit tatkraftig unterstlitzt haben. Bei ihnen allen bedanke ich mich herzlich. Ein ganz besonderes Dankeschon gilt meinem ehemaligen Kollegen Herm Dr.-Ing. Elmar Degenhart, der auch in schwierigen Zeiten ermutigende Worte gefunden hat, sowie meinen Freunden Dr.-Ing. Oliver Krockenberger und Dipl.-Ing. Jiirgen Roth fur ihre ausdauemde Diskussionsbereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes.
List of contents
1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Definitionen der Reinraumtechnik.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.3 Analyse von Verfahren und Methoden zur Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 3.2 Anforderungen an das Verfahren.- 4 Konzeption der Methoden und Hilfsmittel des Verfahrens.- 4.1 Konzeption der Methoden.- 4.2 Konzeption der Hilfsmittel.- 4.3 Erarbeitung eines Prüfverfahrens zur Untersuchung des Partikelemissionsverhaltens ungeschmierter gleitreibungsbeanspruchter Materialpaarungen.- 5 Ableitung von Methoden zur Anlagenkonzeption.- 5.1 Methode zur funktionellen Analyse.- 5.2 Methode zur konzeptionellen Anlagengestaltung.- 6 Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption.- 6.1 Bildung und Optimierung von Funktionsstrukturen.- 6.2 Partikelemissionsverhalten von Materialpaarungen.- 6.3 Materialflußautomatisierung sowie materialflußbezogene Strukturierung und Integration von Fertigungsanlagen und -zellen.- 6.4 Nicht-experimentelle Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsanlagen.- 7 Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkontaminationsmessung.- 7.1 Aufstellen des Anforderungskataloges.- 7.2 Durchführung der funktionellen Analyse.- 7.3 Durchführung der konzeptionellen Gestaltung.- 7.4 Diskussion der Anwendungsmöglichkeiten und Ergebnisse des entwickelten Verfahrens.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.
