Caractérisation et nettoyage du silicium : caractérisation physico-chimique et nettoyage par voie humide

Passe en revue les étapes élémentaires de la fabrication de composants micro-électroniques : nettoyage, dépôt métallique, dépôt de couche diélectrique, oxydation, dopage, gravure, lithographie. Présente les techniques de caractérisation, indispensables pour juger de la qualité des procédés. Pour chaque étape, sont détaillés le procédé, les équipements et la physique des techniques.

Product details

• Authors: Annie Baudrant, BAUDRANT, Annie Baudrant, TARDIF François BAUDRANT Annie, François Tardif, C. Wyon
• Publisher: Lavoisier-Hermès
• Languages: French
• Product format: Paperback / Softback
• Released: 01.04.2009
• EAN: 9782746206052
• ISBN: 978-2-7462-0605-2
• No. of pages: 192
• Dimensions: 160 mm x 240 mm x 10 mm
• Weight: 510 g
• Series: Traité EGEM; Traité EGEM. Electronique et micro-électronique; Traité EGEM, Electronique et micro-électronique; TRAITE EGEM
• Subject: Non-fiction book > Nature, technology