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Silizium-Planartechnologie
Grundprozesse, Physik und Bauelemente

Deutsch · Taschenbuch

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Beschreibung

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Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden können. Aufgrund der großen Bedeutung von Simulationsprogrammen in der Silizium-Planartechnologie wird ergänzend auf CAD-Werkzeuge von der Prozesssimulation (z. B. ISE-TCAD) bis hin zur Schaltungssimulation (z. B. SPICE) eingegangen.

Über den Autor / die Autorin

Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H.G. Wagemann, TU Berlin


Dr. Tim Schönauer, Infineon Technologies AG

Zusammenfassung

Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.

Vorwort

Von der Physik zum Chip

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