Vakuumbeschichtung Verfahren und Anlagen

Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).

Product details

• Assisted by: Röll (Editor), Röll (Editor), Gerard Kienel (Editor), Klaus Röll (Editor), Gerar Kienel (Editor)
• Publisher: Springer, Berlin
• Content: Book
• Product form: Paperback / Softback
• Publication date: 08.03.2013
• Subject: Natural sciences, medicine, IT, technology > Technology > Mechanical engineering, production engineering
• EAN: 9783642633980
• ISBN: 978-3-642-63398-0
• Pages: 481
• Illustrations: XIII, 481 S.
• Dimensions (packing): 17 x 24.4 x 3.1 cm
• Weight (packing): 853 g
• Series: VDI-Buch; VDI-Buch
• Subjects: Werkstoff, Physik, Produktion, Wasserstoff, Verfahrenstechnik, Stahl, Systeme, A, Verfahren, Reaktor, engineering, Polymerisation, Manufacturing, Machines, Tools, Processes, Machines, Tools, Processes, Plasmaspritzen