MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen

Die Erzeugung von Strahlungsdefekten durch hochenergetische MeV-Elektronenbestrahlung von n- und p-Typ Si-SiO2-Strukturen mit verschiedenen Arten von Oxiden wurde untersucht. Die Morphologieänderungen des SiO2-Oxids während der MeV-Elektronenbestrahlung wurden mittels AFM beobachtet. Es werden Si+-Ionen-implantierte Si-SiO2-Strukturen vor und nach MeV-Elektronenbestrahlung vorgestellt. Die Umverteilung von Sauerstoff- und Silizium-Atomen und die Erzeugung von Si-Nanokristallen während der MeV-Elektronenbestrahlung wurde mit RBS/C- bzw. AFM-Techniken beobachtet. Optische Eigenschaften, Photolumineszenz und spektroskopische Untersuchungen von SiOx-Filmen, die mit MeV-Elektronen bestrahlt wurden, werden ebenfalls durchgeführt.

About the author

Prof. Sonia Kaschieva PhD, DSc, ISSP, BAS. Sofia, Bügaria. Urodzona w 1943 r. w Bügarii. 1999 - Doktor nauk w JINR, Dubna, Rosja. 2004 - Profesor, cz¿onek stowarzyszony ISSP - BAS. Prof. Sergey N. Dmitriev PhD, DSc, JINR, Dubna - Rosja Urodzony w 1954, Rosja 1996 - Doktor nauk w JINR, Dubna, Rosja 2000 - Profesor, dyrektor FLNR JINR.

Product details

• Authors: Sergey N Dmitriev, Sergey N. Dmitriev, Soni Kaschieva, Sonia Kaschieva
• Publisher: Verlag Unser Wissen
• Languages: German
• Product format: Paperback / Softback
• Released: 01.01.2020
• EAN: 9786200995711
• ISBN: 9786200995711
• No. of pages: 180
• Subject: Natural sciences, medicine, IT, technology > Physics, astronomy > Miscellaneous